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2021-09-16 瀏覽次數(shù):320
參數(shù)名稱
技術(shù)要求
單位
性能參數(shù)
掃描檢漏
大氣塵或人工塵
粒/L
≤3
DOP法檢漏,穿透率
%
≤0.01
引射作用
大氣塵或人工塵,下游離子濃度(≥0.5um)
≤10
平均風速
單向流潔凈工作臺操作區(qū)平均風速
m/s
0.2~0.5
不均勻度
風速的相對標準偏差
≤20
進風風速
進風口設(shè)在潔凈工作臺操作人員腿部的進風口平均風速
≤1
風量
非單向流潔凈工作臺的換氣次數(shù)
h-1
60~120
非單向流潔凈工作臺額定風量的波動范圍
±20
空氣潔凈度
操作區(qū)的潔凈度級別
級
潔凈度5級(HEPA)
優(yōu)于潔凈度5級(ULPA)
沉降菌濃度
操作區(qū)臺面平均菌落數(shù)(只對用于生物潔凈用途的工作臺有此要求)
cfu/(皿.0.5h)
≤0.5
噪聲
前壁板水平中心向外300mm,且高于地面1.1m處的整機噪聲
dB
≤65
照度
操作區(qū)臺面上的平均照度(無背景照明)
lx
≥300
振動幅度
操作區(qū)臺面幾何中心的垂直凈振幅
um
≤5
氣流狀態(tài)
操作空間垂直氣流試驗(垂直單向流潔凈工作臺)
—
氣流流線應(yīng)垂直于臺面或出風面,不得有死角和回流
操作空間水平氣流試驗(水平單向流潔凈工作臺)
氣流流線應(yīng)平行于臺面或出風面,不得有死角和回流
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