工業(yè)潔凈室特別是電子工業(yè)潔凈室排放的廢水主要成份有：含酸廢水、含堿廢水、含氟廢水、含磷廢水、有機廢水等不同行業(yè)、不同產(chǎn)品、不同工藝其廢水的成份不同，但都必須進行處理，處理后的廢水達到國家排放標準方能排放。
半導體集成電路工廠的廢水處理大都采用化學中和沉淀法處理。其典型流程如下：

生物潔凈室特別是生物安全實驗室排出的廢水中往往含有病毒、有害微生物和致敏性物質，而且產(chǎn)品品種、生產(chǎn)工藝不同廢水的成份也不同。因此含有害微生物的廢水應按成份分別收集，分別滅活、消毒滅菌后達標才能排放。
潔凈室的廢氣處理：
一、工業(yè)潔凈室：特別是電子工業(yè)潔凈室排放的廢主要成份有：一般廢氣、熱廢氣、有機廢氣、酸堿廢氣、含磷等特殊廢氣、含粉塵的廢氣等，不同行業(yè)、不同產(chǎn)品、不同工藝其排放的廢氣的成份不同，但都必須處理達到國家排放標準后方能排到室外。
1、一般由生活用房、值班室、衛(wèi)生間排出的一般廢氣可直接排到室外。
2、排放的有機廢氣超標時必須經(jīng)過有機廢氣處理設備處理達標后再排放有機廢氣，處理方法有活性炭吸附法、液體吸收法和催化燃燒法等。
3、含酸堿廢氣在生產(chǎn)工藝中排放的較多，一般都是經(jīng)過淋液濕式洗氣吸收塔進行中和處理達標排放。
4、排放的熱廢氣一般情況下可直接排放，如果溫度較高必須采取隔熱措施以免傷人。
5、含塵廢氣必須經(jīng)過適當?shù)某龎m裝置除塵后再排至大氣。
6、含磷、含砷等特殊廢氣首先防止在排氣系統(tǒng)中產(chǎn)生化學反應并通過專用的廢氣處理設備處理后達標排放。通常處理方法有稀釋法、吸收法、吸附法、催化燃燒法等等。
二、生物潔凈室：尤其是生物安全實驗室的排風一般含有活性的有毒有害的病菌等微生物。因此這類排風須經(jīng)過過濾滅菌后再排放。如手術室的排風須經(jīng)過中效過濾方能排到室外；P3實驗室的排風須經(jīng)過高效過濾器過濾后方能排到室外；P4實驗室的排風須經(jīng)過兩級高效過濾器過濾后才能排到室外。為了安全最好采用袋進袋出的高效過濾器裝置。
潔凈室凈化空調設計程序步驟：
設計前的準備工作及應收集的有關數(shù)據(jù)和資料：
1、收集國家和地方有關潔凈室建設的政策標準規(guī)范：
（1）潔凈度等級的國家標準和國際標準ISO 14644
（2）潔凈廠房設計規(guī)范”GB 50073-2013
（3）電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范”（修訂中）
（4）制藥工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范”（修訂中）
（5）醫(yī)院潔凈手術部建筑技術規(guī)范”GB50333-2013
（6）實驗動物環(huán)境及設施”GB14925-2010
（7）生物安全實驗室建筑技術規(guī)范”GB50346-2011
（8）潔凈室施工及驗收規(guī)范”GB50591-2010
（9）電子工業(yè)潔凈廠房施工及驗收規(guī)范”（制訂中）
（10）民用建筑供暖通風與空氣調節(jié)設計規(guī)范”GB 50736-2012
（11）通風與空調工程施工質量驗收規(guī)范”GB50243-2016
（12）建筑設計防火規(guī)范”GB50016-2014
2、該項目的“可行性研究報告”以及上級主管部門對報告的批復意見；該項目的“設計任務書”和建設方對該項目建造的有關要求、意見和建議。
3、該項目建廠地區(qū)的氣象資料、水文地質資料和周圍大氣污染的環(huán)境狀況。
4、潔凈室內生產(chǎn)工藝對凈化空調的要求和必須收集的生產(chǎn)工藝的技術條件和有關數(shù)據(jù)、資料：
（1）潔凈廠房內的生產(chǎn)工藝設備平面布置圖和設備清單，以及工藝對吊頂高度的要求。
（2）工藝對潔凈室內的潔凈度、溫度及精度、相對濕度及精度、正壓、振動、噪聲、照度、靜電、屏蔽等要求。
（3）潔凈室內生產(chǎn)工藝設備的產(chǎn)熱量、產(chǎn)濕量、產(chǎn)塵量。各設備的安裝功率、效率、熱轉化系數(shù)和同時使用系數(shù)等。
（4）潔凈室內生產(chǎn)工藝設備的局部排風量、排放氣體的性質、成份、濃度和廢氣排放量以及廢氣治理方法。
（5）潔凈室內生產(chǎn)運行的班次、運行規(guī)律、生產(chǎn)的最大班人數(shù)。
5、潔凈廠房的建筑和結構的情況和有關的數(shù)據(jù)：
（1）潔凈室建筑的平面布置圖、立面圖、剖面圖。各房間的分割、面積、名稱、層高。
（2）潔凈室圍護結構（墻、地、頂、門、窗等）的建筑材料以及其熱工性能。
（3）建筑結構狀況、結構的承載能力，尤其是舊建筑的改造項目結構的安全十分重要。
6、全廠冷源、熱源、電源的情況及供應：
（1）冷熱源的性質、參數(shù)和供應量。有無加濕用的蒸汽等。
（2）電源的性質、參數(shù)和供應量。
7、地方消防、環(huán)保部門對該項目建設的要求和意見。
8、其它相關專業(yè)（給水排水、氣體動力、建筑結構、強電弱電等）的要求和意見。
9、設計時所用的設備、材料、配件的性能、參數(shù)和價格的資料。
工藝平面和建筑平面的規(guī)劃：
工藝平面一般由甲方工藝技術人員根據(jù)工藝流程和工藝設備以及工藝生產(chǎn)的需要進行合理規(guī)劃。工藝平面規(guī)劃后在滿足工藝平面規(guī)劃的前提下，布置換鞋、更衣、吹淋、廁所等人流輔助生活用房、物流吹淋輔助用房和走廊參觀以及消防疏散等通道，最大限度地保證生產(chǎn)工藝的流程短捷和火災時人員的安全疏散。
凈化空調系統(tǒng)和排風系統(tǒng)的劃分原則：
根據(jù)建筑專業(yè)提供的建筑平面圖，工藝專業(yè)提供的工藝設備平面圖和工藝對各潔凈室的潔凈度，溫、濕度等環(huán)境的要求，即可進行凈化空調系統(tǒng)的劃分工作。